設備介紹

影像式橢圓儀：
Axometrics的影像式橢圓儀分為基礎(ISR-1)與進階版(EllipsoStep)，解決光譜橢偏儀的量測限制，將光譜橢偏儀與顯微鏡結合。

 

 

 

	ISR-1	EllipsoStep
Lower system cost	✓
使用程度	簡易	進階
同時對焦FOV下的全景像	✓
最小量測膜厚區域	1 μm x 1 μm	1 μm x 1 μm
已知折射率的簡易膜層量測	✓	✓
未知折射率的膜層量測		✓
多層結構量測		✓
20 nm – 10,000 nm厚度的膜層量測	✓	✓
極薄膜量測（0 nm – 20 nm）		✓
NK 值量測		✓
Focus Stage	手動	自動
震動要求等級	VC-B	VC-A

 

共同特色:

• 使用旋轉式PSCA系統搭配16位元CCD相機
• 同一時間量測影像中的每一點位
• 每波長僅2.4秒
• 波長範圍介於 250至1,000nm間
• 可選擇欲使用鏡頭倍率

特點：

• 小區域的在線掃描
• 薄膜厚度的2D影像

應用：
影像式橢圓儀用於檢測製造半導體(semiconductors)、有機發光二極體(OLED)、發光二極體(LED)、液晶顯示器(LCD)、觸控式螢幕(touchscreens)、太陽能電池(solar cells)的薄膜，包含：

• 矽Silicon (a-Si, p-Si)
• 二氧化矽SiO2
• 氮化矽SiNx
• 有機薄膜Organic layers

光學解析度將依所選擇的鏡頭倍率而改變，使用者可依量測需求來選擇。

在鏡頭成像下的範圍內，可自由選擇區塊進行分析。

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