AXOMETRICS/VRTF-3-MSRS-XY50-W12光斑式橢圓儀 AXOMETRICS / Imaging Spectroscopic Ellipsometer影像式橢圓儀
設備介紹
特性:
- Axometrics偏光測定儀,為目前偏極化量測中最快速的測量系統
- 快速測量快軸方位角度(Fast-axis Orientation)、相位延遲(Retardance)、偏光(Polarization)
- 線性/橢圓/圓形的偏極化測量
- 多波長Retardance頻譜的R0(400-800nm)
- 快速測量Biaxial Films R0、Rth和β(須視機型而定)
- 具有旋轉/傾斜機構,於測量時旋轉角度可精確掌握(須視機型而定)
- 可承載最大樣品尺吋:12吋(須視機型而定)
- 操作容易的軟體介面
- 客製化測量模組組合
應用範圍:
- LCOS Cell Gap的測量
- LCOS晶圓Retardance和電壓特性關係的測量(須根據選配內容而定)
- 去極化量測
- 液晶(LCD)Cell Gap、Pre-tiltangle、Rubbing direction、twist angle量測
- 多波長延遲片/相位差板(In Plate or Out of Plate)測量
- 偏光片(板)測量多層膜(R0,Rth,β)
- 快軸方位角度測量(Fast Axis Orientation)
- 3D Film的測量(FPR)
- 多面向的LCD的量測(PSVA Multi一Domain)
- 根據不同機型,搭配不同軟體應用,可量測膜厚、n/k值