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AXOMETRICS/VRTF-3-MSRS-XY50-W12光斑式橢圓儀 AXOMETRICS / Imaging Spectroscopic Ellipsometer影像式橢圓儀

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設備介紹

特性:

  • Axometrics偏光測定儀,為目前偏極化量測中最快速的測量系統
  • 快速測量快軸方位角度(Fast-axis Orientation)、相位延遲(Retardance)、偏光(Polarization)
  • 線性/橢圓/圓形的偏極化測量
  • 多波長Retardance頻譜的R0(400-800nm)
  • 快速測量Biaxial Films R0、Rth和β(須視機型而定)
  • 具有旋轉/傾斜機構,於測量時旋轉角度可精確掌握(須視機型而定)
  • 可承載最大樣品尺吋:12吋(須視機型而定)
  • 操作容易的軟體介面
  • 客製化測量模組組合

應用範圍:

  • LCOS Cell Gap的測量
  • LCOS晶圓Retardance和電壓特性關係的測量(須根據選配內容而定)
  • 去極化量測
  • 液晶(LCD)Cell Gap、Pre-tiltangle、Rubbing direction、twist angle量測
  • 多波長延遲片/相位差板(In Plate or Out of Plate)測量
  • 偏光片(板)測量多層膜(R0,Rth,β)
  • 快軸方位角度測量(Fast Axis Orientation)
  • 3D Film的測量(FPR)
  • 多面向的LCD的量測(PSVA Multi一Domain)
  • 根據不同機型,搭配不同軟體應用,可量測膜厚、n/k值