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KINGYOUP 晶圆暂时贴合及雷射剥离设备 KINGYOUP 真空溅镀设备

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连续式真空溅镀设备(In-Line SPutter)及卷绕式真空镀膜设备 (Roll to Roll Sputter),主要应用于触控面板、减反射盖板玻璃及薄膜太阳能相关制程,依不同需求提供客制化设计、制作与售后服务。

连续式真空镀膜设备-卷绕式镀膜

特点:

  • 制程腔main Drum温度可调整-20~80℃
  • 多段式气管设计,镀膜均匀性佳
  • roller 特殊设计、有效防止皱折产生
  • 收料区使用寻边控制器,有效控制偏摆问题
  • 遮板使用快拆设计,维护容易

应用:

  • 薄膜光学材料:AR、IR、UV、建筑材料
  • 导电材料:触控产业、软式光电产品
  • 光学转换材料:PV Cell、热吸收