UNION THS 双面对焦厚度测定机

• Z轴光学辅助对焦符号，使操作人员有清楚准确的判断依据，减少人为误差大幅提升精度。
• 采用上，下镜头的单点测量，不会因待测物（sample)弯曲而造成测量的误差。
• 光学非接触的测量方式不会造成待测物（sample）的刮伤或变形。
• 总和倍率由50倍至2000倍（上、下镜头须相同）。

THS 于Z轴测量时不会因待测物（sample) 上、下两面的凹陷或凸起而造成测量的误差

THS为针对厚度测量所专门开发光学非接触式测定机，特有的上、下镜头设计可分别观察待测物（sample）的上、下两面

应用范围：

• 微机电（MEMS）的悬膜及材料厚度测量
• 晶背研磨后的厚度测量
• 各种薄膜的厚度测量