UNION DCM双面对位测定机

特性：

• DCM系列独特的上、下双镜头设计，为双面对位量测所开发的非接触式光学量测仪器。
• DCM可由目镜（或显示器）分别观看正面、背面及双面结合影像。
• 搭配精密的测量平台，可分别测量待测物（sample）的 正、反面的X、Y轴数据。
• 显示双面结合影像时可测量正、反面的对位差，精度极佳。
• 总和倍率由50倍至1000倍（上、下镜头倍率须相同）。

应用范围：

• 各种双面制程的对位测量
• 晶圆（Wafer) 正、反面凸块或两面沟槽的对位测量
• 导线架的正／反两面的对位测量
• 微机电（MEMS）的正、反面的对位测量

1. 镜头选择装置，选择上镜头 (Top）后，调整焦距使画面为一清晰之影像
2. 镜头选择装置，再选择下镜头 (Bottom），调整焦距使画面为一清晰之影像
3. 镜头选择装置，再选择双面结合影像，可同时看见正、反面的记号并测量正、反面记号的对位差