三次元工具显微镜

• 采用光学Z轴对焦符号非接触式检测待测物（SamPle）高度／深度，避免造成待测物（SamPle）刮伤或变形。
• 可加装测量软件，并运用量测统计分析（SPC）管制、WORD、EXCEL快速制作量测报告。
• 可单独选购Z轴对焦符号，加装到其它三次元工具显微镜，有效提高Z轴精度。

应用范围：

• 锡球高度
• 金线弧高
• 铜箔高度
• 晶圆高度／深度
• 电子、机械各类产品高度／深度检测

Z轴对焦符号

多种标准测定平台可供选择