液晶面板制造暨检查设备

电路整列制程设备（Array Fabrication）及彩色滤光片制程设备（C/F,Color Filter Process)

玻璃基板表面检查设备

• 最适合于对坡璃基板表面异物检查及制程管理
• 对应基板的大型化、薄型化的发展趋势。
• 具有节省无尘室空间、高检出感度、检查速度快及高表里分离能力等优点。

近接式曝光机

• 最以X Y Step方式对应第10代基板尺寸的近接式曝光机
• 比投影式曝光机台具有成本上绝对优势
• 采用高功率的曝光光源