AXOMETRICS/VRTF-3-MSRS-XY50-W12光斑式椭圆仪 AXOMETRICS / Imaging Spectroscopic Ellipsometer影像式椭圆仪
设备介绍
特性:
- Axometrics偏光测定仪,为目前偏极化量测中最快速的测量系统
- 快速测量快轴方位角度(Fast-axis Orientation)、相位延迟(Retardance)、偏光(Polarization)
- 线性/椭圆/圆形的偏极化测量
- 多波长Retardance频谱的R0(400-800nm)
- 快速测量Biaxial Films R0、Rth和β(须视机型而定)
- 具有旋转/倾斜机构,于测量时旋转角度可精确掌握(须视机型而定)
- 可承载最大样品尺吋:12吋(须视机型而定)
- 操作容易的软件接口
- 客制化测量模块组合
应用范围:
- LCOS Cell Gap的测量
- LCOS晶圆Retardance和电压特性关系的测量(须根据选配内容而定)
- 去极化量测
- 液晶(LCD)Cell Gap、Pre-tiltangle、Rubbing direction、twist angle量测
- 多波长延迟片/相位差板(In Plate or Out of Plate)测量
- 偏光片(板)测量多层膜(R0,Rth,β)
- 快轴方位角度测量(Fast Axis Orientation)
- 3D Film的测量(FPR)
- 多面向的LCD的量测(PSVA Multi一Domain)
- 根据不同机型,搭配不同软件应用,可量测膜厚、n/k值